Plasma Grabado Máquina ukan lurawipa

ICP yänakaxa jilpachaxa pusi chiqanakaniwa: pre-cámara de vacío, cámara de grabado, sistema de suministro de gas ukatxa sistema de vacío.

(1) Pre-cámara de vacío ukaxa mä juk’a pachanakwa lurasi

Aka pre-cámara de vacío ukan lurawipaxa, cámara de grabado ukaxa mä nivel de vacío ukana utjañapataki, jani anqäxa pachampi (kunjamatixa laq’a, uma vapor) ukanakampi, ukhamaraki gases peligrosos ukanakaxa q’uma utatxa yaqhawjaru jaqukipata. Ukax mä tapa, mä manipulador, mä mecanismo de transmisión, mä punku aislamiento, ukat juk’ampinakampiw utji.

2) Cámara de grabado ukaw utji

Cámara de grabado ukaxa estructura central ukawa ICP grabado uka yänakampi. Ukaxa directa impacto ukaniwa tasa de grabado, verticalidad de grabado ukatxa rugosidad ukanakaru. Aka cámara de grabado uksanxa jach’a yänakaxa akanakawa: electrodo superior, unidad de radiofrecuencia ICP, unidad de radiofrecuencia RF, sistema de electrodos inferiores, sistema de control de temperatura, juk’ampinaka.

3) Sistema de suministro de gas

Sistema de suministro de gas ukaxa kunaymana gases de grabado ukanaka cámara de grabado uksaru puriyañatakixa, ukhamaraki chiqapa controlar flujo de gas ukatxa flujo ukaxa controlador de presión (PC) ukhamaraki controlador de flujo masivo (MFC) ukanakampi. Sistema de suministro de gas ukaxa mä botella de fuente de gas, mä gasoducto de entrega de gas, sistema de control, unidad de mezcla, juk ampinakampiwa lurataraki.

4) Sistema de Vacío ukax mä juk’a pachanakanwa
Pä sistema de vacío ukaw utji, maynix pre-cámara de vacío ukataki, maynix cámara de grabado ukataki. Uka pre-cámara de vacío ukaxa mä bomba mecánica ukampiwa apsutaraki. Kunawsatix nivel de vacío ukax pre-cámara de vacío ukanx valor establecido ukar purinxi ukhakiw aislamiento punkux jist’arasispa oblea ukar mayjt’ayañataki. Uka vacío ukaxa cámara de grabado uksanxa mä bomba mecánica ukatxa mä bomba molecular ukanakampiwa lurataraki. Ukhamaraki gases ukanakaxa reacción ukanxa cámara de grabado ukanxa sistema de vacío ukanxa apsutarakiwa.